国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台问世,该技术永远被日本公司垄断

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【国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台问世,该技术永远被日本公司垄断】中国科学院长春光学详细死板与物理钻研所旗下的长春光华微电子设备工程中央有限公司成功研制出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。晶圆探针台是半导体走业主要的检测装备之一。晶圆探针检测过程技术难度极大。“检测过程请求,在0.3秒内,晶圆探针台的几千到几十万根探针别离精准地对答到一个个大幼约为头发丝横截面四分之一的Pad盘上。”光华微电子董事长田兴志说。原由探针台技术门槛较高,现在市场处于双强垄断态势,东京电子(TEL)和东京详细(TSK)两家日本公司占有了绝大片面市场份额。光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发,工程案例2019年首,先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的著名企业进走了样机测试。(科技日报记者 陆成宽)

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